העיקרון של משאבת ואקום מיקרו הוא פשוט נאמר כדלקמן: יש אחד זרבובית יניקה אחת זרבובית פליטה, ואת ואקום או לחץ שלילי ניתן להיווצר ברציפות על מפרצון: לחץ חיובי מיקרו נוצרת על פיית פליטה, המדיום העבודה היא בעיקר גז, נפח קטן של כלי.
מיכל אטום (בתחילה, הלחץ הפנימי הוא 100KPa) מחובר המשאבה ואקום מיקרו SC3704PM להפקת אוויר רציפה. לבסוף, לחץ הגז במיכל אטום יהיה נמוך יותר מאשר לחץ אטמוספרי ולהגיע הלחץ המוחלט של 60KPa.
בגלל נקודת דימום או עשן האוורור יכול הלחץ אטמוספרי ההבדל עם העולם החיצון, ולא כמו צורך גדול סיכה שמן משאבת ואקום ושמן משאבת ואקום, לא זיהום של המדיום עובד, נפח קטן, רעש נמוך, לא תחזוקה, ולכן לעקרון של משאבת ואקום מיקרו, משאבת ואקום מיני שימש כמפעל כוח נעשה שימוש נרחב בדגימת גז, מחזור גז, ספיחה ואקום, להאיץ את סינון, ואקום רכב מגבר, וכו ', במחקר רפואי, רפואי, מדעי , הגנת הסביבה ותחומים אחרים כבר בשימוש נרחב.