משאבת מיקרו דיאפרגמה מתייחסת למשאבת המיקרו ואקום, עם זרימת פיית הפליטה הנכנסת והחוצה, פיית פליטה כל אחת, דרך ההתקן המכאני הפנימי כדי להפוך את הסרעפת בתוך משאבת הוואקום לתנועה הדדית, ויכולה להמשיך ליצור ואקום או שלילי לחץ בכניסה, היווצרות של לחץ מיקרו חיובי על פיית הפליטה; מדיום העבודה הוא בעיקר גז, מכשיר קומפקטי. למשאבת מיקרו דיאפרגמה יש שתי דרכים לעבוד, הפרטים הבאים כדי להציג את עקרון העבודה של משאבת ואקום מיקרו דיאפרגמה.
משאבת דיאפרגמה מיקרו חשמלית היא מנוע מיקרו DC (המתח הכללי הוא 5V, 12V, 24V מנוע) לעשות התקן כונן כוח, להניע את המכשיר המכאני האקסצנטרי הפנימי לעשות תנועה אקסצנטרית, מונע על ידי תנועה אקסצנטרית תנועה הדדית של הסרעפת הפנימית. לנפח קבוע של חלל משאבת דחיסת אוויר (נקודת דימום דחיסה סגורה, פתח אוורור בצורת לחץ מיקרו חיובי), מתיחה, פתח דחיסה סגור, כאשר נקודת דימום על היווצרות לחץ שלילי), לחץ אטמוספרי עם העולם החיצון בלחץ כניסת משאבת ואקום הבדל, תחת פעולת הפרש הלחץ, לחץ הגז (שאיבה) לתוך תא המשאבה, ואז פריקה מהאוורור.
משאבת מיקרו דיאפרגמה היא השימוש בסיבוב בורג לשאיבה ופריקה של נוזל. בורג אמצעי משאבת מיקרו דיאפרגמה לבורג הפעיל, מונע על ידי סיבוב המניע הראשי, הבורג משני צידי הבורג המונע, עם הבורג הפעיל סיבוב הפוך. הברגים ראשיים ומונעים הם הברגה כפולה. כתוצאה מכך שהבורג מתערב זה בזה וקיר הבורג והבטנה תואמים היטב, במשאבת המיקרו דיאפרגמה בין הכניסה ליציאה, תופרד לחלל אטום אחד או יותר. עם סיבוב הבורג והתערבות, החלל האטום הנוצר בצד היניקה של משאבת הוואקום כל הזמן, הנוזל מתא היניקה נאטם ביניהם, ומכיוון שתא היניקה לאורך הבורג צירי ממשיך ברציפות לקצה הפריקה, להיות סגור בפריקת הנוזל, כל חלל הוא כמו אום בסיבוב בורג שנוסע כל הזמן קדימה, זהו עקרון העבודה הבסיסי של משאבת המיקרו דיאפרגמה.